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光刻机、台阶仪设备采购结果公告
信息来源： ******[查看]
|地区：全国
|类型：结果公示
基本信息
信息类型：结果公示
区域：全国
源发布时间：2025-07-17
项目名称：******[查看]
项目编号：******[查看]
招标单位：******[查看]
中标单位：******[查看]
*符合收录标准*
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中标信息

成交供应商： ******有限公司    
选择理由： 总价最低，推荐成交    
质疑投诉说明： 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至国有资产管理处，逾期不予受理。
项目名称 光刻机、台阶仪设备采购 项目编号 ZBDXJC-******
公告发布日期 2025/07/10 15:17 报价截止时间 2025/07/15 15:17
采购单位 ******大学 付款条款 合同签订后，甲方向乙方预付合同金额的40%，设备交付到现场，安装、调试验收合格，乙方出具增值税专用发票后，甲方向乙方一次性支付全部尾款。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否需要踏勘 否
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
采购预算 ￥295,000.00 成交金额 ￥280,000.00    
送货/施工/服务期限 合同签订后60天内完成设备交付安装培训。
送货/施工/服务地址 ******大学

   采购清单 1
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价
光刻机 否 套 1 （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x24 技术支持，4小时内响应， 48小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 ￥100,000.00
参考品牌及型号 ******学院光电技术研究所（URE-2000S）   飞诚（FC-GK-22）   博锐（BEM-YL3000）  
技术参数要求 一、技术参数要求 1、光源类型： LED 光源； 2、曝光面积：160 mm×160 mm； 3、曝光波长：365 nm：0-30 mW/cm2数字连续可调； 4、分辨力：1 μm； 5、对准精度：±1.2 μm（单面），±2μm（双面，片厚≤0.8mm）； 6、掩模尺寸： 7 英寸，向下兼容 7、样片尺寸：150 mm×150 mm，厚度可适应 0.1mm--2mm（其他厚度可定制），向下兼容； 8、曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s-999.9s 任意设定）； 9、调平接触压力通过传感器保证重复； 10、数字设定对准间隙和曝光间隙； 11、正面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 40mm-140mm； 12、底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 20mm-140mm； 13、具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能； 14、照明不均匀性：±2%（Ф100 mm 范围），±3%（Ф150 mm 范围）； 15、掩模相对于样片运动行程： X：优于±5mm; Y：优于±5mm; θ：优于±6°； 16、光源平行性：≤2.5°。 二、配置要求 设备要求由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套 设备构成； 1、曝光头系统要求包含： 1.1进口紫外 LED 光源； 1.2 LED 光源整形模块； 1.3 XYZ 光源位置调节台； 1.4冷却风扇； 1.5光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射镜组）； 2、对准工件台要求包含： 2.1掩模样片相对运动台（XY）； 2.2 转动台（θ）； 2.3样片自动调平机构；； 2.4样片调焦机构 2.5承片台 1 个 （150mm×150mm）； 2.6掩模架 1 个 （7 英寸）； 2.7掩模翻转及旋转机构；； 2.8XYZ 底面对准工件台（两套）； 3、双目双视场对准显微镜包括：光源、电源； CCD 4 只；成像光学系统；22 英寸液晶显示器；采集卡；三维运动台； 4、底面对准系统包括：光源、电源；成像光学系统；数据采集卡 ；CCD。 5、电控系统包括：控制系统、控制柜桌、计算机系统； 6、气动系统包括：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；电磁阀驱动；气动仪表； 7、其它附件包括：真空泵一台（无油泵）；空压机一台（静音泵）；管道。

   采购清单 2
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价
台阶仪 否 台 1 （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x24 技术支持，4小时内响应， 48小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 ￥180,000.00
参考品牌及型号 光莹（GY-10P）   泽攸（JS10B）   镭埃（ZL-VSM）  
技术参数要求 1、光学系统：≥500万像素彩色摄像机 2、探针传感器：双LVDT传感器； 3、探针加力范围：0.5-50mg； 4、探针选型：探针曲率半径1μm，夹角60°； 5、平台移动范围X/Y ：手动X/Y（150mm×150mm）； 6、移动范围Z： 手动Z，10mm； 7、样品R-θ载物台： 手动，360°连续旋转； 8、单次扫描长度： 55mm； 9、最大样品厚度： ≤10mm； 10、载物台可装载最大尺寸： 170mm； 11、台阶高度重复性： 0.5nm（标准块重复扫描30次）； 12、测量范围： 500um； 13、扫描速度： 5um/s-100um/s； 14、最大扫描采样点数： 200万点；

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快照：2025-07-17
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